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Nonlinear model and system identification of a capacitive dual-backplate MEMS microphone

Liu, Jian ; Martin, David T ; Kadirvel, Karthik ; Nishida, Toshikazu ; Cattafesta, Louis ; Sheplak, Mark ; Mann, Brian P

Journal of Sound and Vibration, 2008, Vol.309(1), pp.276-292 [Rivista Peer Reviewed]

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